螺杆式真空泵主要结构

上图可见，螺杆式真空泵在结构上比较简单。形式上，螺杆式真空泵有卧式和立式之分。

依据螺杆转子型线的不同又可分为单头螺杆式真空泵与多头螺杆式真空泵。

单头螺杆式真空泵根据转子螺距的不同，可分为等螺距螺杆式真空泵与变螺距螺杆式真空泵，变螺距中又可细分为一段式、两段式、三段式等。

多头型线在一个导程内即能完成吸气、压缩、排气过程，导程少，可有效减少泵的体积与重量，适用于大抽速领域，但其型线复杂，需特制道具与专用机床，加工费用昂贵，且由于泄漏三角的因素，真空度不高，因此市场上并不多见。

单头型线适用于中小型螺杆式真空泵，市场上也多为单头螺杆式真空泵。其中等螺距螺杆式真空泵腔内无压缩，可以轻松排出固体颗粒与可凝性气体，但其排气温度与能耗度较高。

变螺距螺杆式真空泵腔内有压缩，排气温度低、能耗低，但对粉尘颗粒以及可凝性气体的耐受性不如等螺距。

下图是几种不同型线的转子结构对比：

三种螺杆转子形式