干式螺杆真空泵是一种利用一对螺杆在泵壳中作同步高速反向旋转而产生吸气和排气作用的容积式抽气设备。其核心在于一对通过高精度同步齿轮驱动、彼此啮合但非接触的螺杆转子。气体从吸气端被吸入，在由转子和泵体形成的封闭齿间容积内沿轴向被推送、压缩，终从排气端排出。其“干式”特性源于泵腔内部无需任何工作液，保证了被抽气体的纯净。

　　吸气过程

　　随着转子的旋转，与吸气口相连的密封腔空间逐渐变大，气体被吸入。

　　压缩过程

　　在压缩过程中，被封闭的齿间容积从吸气端向排气端移动，其空间逐渐减小，实现对吸入气体的压缩。

　　排气过程

　　气体被压缩到排气口后排出。

　　根据转子设计的不同，干式螺杆真空泵的螺杆转子技术主要分为等螺距、变螺距和变截面（锥形）转子等类型。其中，变螺距设计通过改变螺距来优化内压缩过程，可比等螺距设计节能高达30%。转子端面的型线通常由圆弧、摆线、渐开线等曲线组合而成，现代优化型线（如全光滑型线）旨在减少泄漏，提率。

　　一对平行、螺旋状、旋向相反的螺杆转子是泵的核心工作部件，它们通过一对同步齿轮保持的同步反向旋转。转子与转子之间、转子与泵体之间保持微小的非接触间隙，实现无摩擦运转。轴承系统用于支撑转子轴。轴封系统（通常为机械密封或唇形密封）用于防止气体沿轴泄漏。泵体及端盖通常设有夹套，长时间运转时需通入冷却水进行冷却。此外，在排气侧通常设有掺气口，可导入适量空气或其他气体以帮助冷却转子，带走压缩热。