干式螺杆真空泵是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备。

　　干式螺杆真空泵工作原理：

　　干式螺杆真空泵的工作过程可分为吸气、压缩和排气三个过程。随着转子的旋转，每对相互啮合的齿相继完成相同的工作循环，现在以其中一对齿来说明。

　　吸气过程

　　阳转子按逆时针方向旋转，阴螺杆按顺时针方向旋转。上方的转子端面是吸气断面，下方的端面为排气端面。

　　压缩过程

　　转子端面是排气端面。在这里，阳转子沿顺时针方向旋转，阴转子沿逆时针方向旋转。上方的转子端面是吸气断面，下方的端面为排气端面。

　　排气过程

　　螺杆泵的排气过程，齿间容积与排气孔口连通后，即开始排气过程。随着齿间容积的不断缩小，具有排气压力的气体逐渐通过排气孔口被排出。

　　干式螺杆真空泵特征

　　可靠性高。螺杆式干式真空泵零部件少，没有易损件，因此它运转可靠，寿命长。

　　操作维护方便。

　　动力平衡性好。螺杆式干式真空泵没有不平衡的惯性力，机器可平稳地高速运行。

　　适应性强。螺杆式干式真空泵具有强制输气的特点，在宽广的压力范围内能保持较高的抽速，排气量几乎不受排气压力的影响.

　　多相混输。由于螺杆式干式真空泵转子齿面间留有微小间隙，因而可抽除腐蚀性、有毒、含有粉尘、可凝性蒸汽等多种气体。

　　干式螺杆真空泵应用：

　　螺杆式干式真空泵广泛应用于电子、核能、化工、医药、食品工业等领域。在半导体工业中用于生产芯片、制造液晶显示器、蚀刻、生产PLASMA的CVD制程。

　　在核工业中用于核反应堆及核工业真空获得;化工上用于真空蒸馏及溶剂萃取回收溶剂，在脂肪酸生产中用来消除水污染，清除喷射器中的阻塞物;医药工业中用于回收药液及药物中间体，为人造器官生产提供清洁无菌条件，回收气体消毒剂;食品工业中用于香料、香精浓缩，食品包装等。

　　干式螺杆真空泵应用范围：

　　具体应用：干燥处理、真空蒸馏、分子蒸馏溶剂的回收、油气回收、工厂普通真空、电子、真空镀膜、航空、核工业领域能够抽除普通空气，易燃易爆气体、腐蚀性气体，尤其能满足对获得清洁真空要求较高的环境。具体应用：真空镀膜、真空蒸馏真空干燥、拉单晶、特气制造、离子刻蚀。

　　纺织、冶金等行业在氨纶、芳纶、纤维、冶金等相关工艺中应用干式真空泵，具体应用：真空脱泡VOD真空吹氧脱碳法等。

　　一类是以半导体行业为代表，要求真空泵向被抽空间内的返流为零，以保护工件免受污染。对半导体行业中应用的真空系统要求大体分为三个等级。

　　清洁条件下的抽气，只抽干空气或含少许水蒸汽的空气。

　　中等条件下的抽气，抽除工艺过程的反应气体，但无固体颗粒物。

　　恶劣条件下的抽气，抽除化学反应物有毒甚至致癌）及固体颗粒物。

　　另一类是以石化行业为代表，要求真空泵能大量抽除可凝性气体，或腐蚀性气体或有毒气体，或含有微尘的气体。螺杆式干式真空泵广泛应用于电子、核能、化工、医药、食品工业等领域。在半导体工业中用于生产芯片、制造液晶显示器、蚀刻、生产PLASMA的CVD制程。

　　在核工业中用于核反应堆核工业真空获得;化工上用于真空蒸馏及溶剂萃取回收溶剂，在脂肪酸生产中用来消除水污染，清除喷射器中的阻塞物;医药工业中用于回收药液及药物中间体，为人造器官生产提供清洁无菌条件，回收气体消毒剂;食品工业中用于香料、香精浓缩，食品包装等。