干式螺杆真空泵属于技术含量较高的一类真空获得设备，其核心工作原理是利用一对螺杆在泵壳内做同步、高速且反向的旋转，通过螺杆之间的啮合实现气体的吸入与排出。两套螺杆转子均经过精细的动平衡校正，并由轴承支撑安装在泵壳内，转子之间以及转子与泵壳之间均留有一定间隙。因此设备运行时无机械接触摩擦，运转平稳，噪声低，工作腔内不需要润滑油润滑。基于上述结构特点，干式螺杆泵适用于抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，能够实现较高的极限真空等级，同时功率消耗相对较低，具备节能和低维护需求的特征，可视为油封式真空泵的更新换代产品。

　　从设计制造角度看，螺杆转子作为该泵的核心部件，采用三维曲面数学模型进行设计与求解，随后在五轴联动的数控加工设备上完成实体加工，保证了较高的几何精度与质量稳定性，有利于实现长时间无故障运行。该泵的工作腔内无任何工作介质，因此可获得清洁无油的真空环境。同时，工作腔及螺杆转子表面可施加防腐涂层，以适应腐蚀性或含有颗粒物的恶劣工况。气体在泵内流动过程中不经历压缩，适宜抽取可凝性气体。单台泵即可从大气压力抽至1Pa量级的极限真空，有助于简化真空系统的整体结构。冷却水温度对真空性能影响较小，可节约用水量达90%以上，甚至实现无水运行。由于不消耗油类介质，不存在油液滴漏问题。旋转部件之间无摩擦，允许高速运转，整机结构紧凑、体积较小。日常维护相对简便。被抽气体直接经泵体排出，不会对水体产生污染，环保压力小，也便于进行气体回收。此外，该泵可与罗茨泵、分子泵等组合构成无油真空机组。

　　在应用领域方面，干式螺杆真空泵主要面向高纯净度要求的真空工艺过程，尤其适合电子、化工、生物医药等行业中对凝性气体或含颗粒物气体有处理需求的场合。